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guoxingnann
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小弟最近开始做黑硅,但是总是在制绒后硅片表面不光滑,凹凸不平,有什么东西可以减缓这种情况,使硅片更平滑
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2018-09-20 19:32:26
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又要做绒,又要求平滑。不矛盾吗?
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12楼
2018-09-20 19:44:45
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是用干法做的吗?
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13楼
2018-09-20 20:01:46
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guoxingnann
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Originally posted by
czcdxmc
at 2018-09-20 20:01:46
是用干法做的吗?
是湿法,碱抛的,按说出来的金字塔应该相对均匀,但是我抛出来的偏大,而且很多坑
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14楼
2018-09-26 21:39:25
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czcdxmc
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有利用金属微掩膜,使用干法做的,不知效果如何
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2018-09-27 07:19:15
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guoxingnann
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:
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czcdxmc
at 2018-09-27 07:19:15
有利用金属微掩膜,使用干法做的,不知效果如何
嗯嗯,之前看文献了解过,不过我们这主要是靠添加剂,一直没试到合适的
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16楼
2018-09-27 08:19:09
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16楼
:
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guoxingnann
at 2018-09-27 08:19:09
嗯嗯,之前看文献了解过,不过我们这主要是靠添加剂,一直没试到合适的
...
我建议考虑下强算下可存活的表活,我们在这个领域有过案例
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17楼
2019-01-15 16:21:56
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我是专门做干法的,效果很好,也做过湿法,有些经验,有意可以沟通
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18楼
2019-06-08 15:06:33
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og7865974
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2018-09-20 19:32
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i4s152366
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cfh546427
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hdchina2010
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景景--
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k6x953419
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YueChuZeBei
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tzynew
11楼
2018-09-20 19:35
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