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guoxingnann

新虫 (小有名气)


已领完
黑硅制绒
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小弟最近开始做黑硅,但是总是在制绒后硅片表面不光滑,凹凸不平,有什么东西可以减缓这种情况,使硅片更平滑

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czcdxmc

木虫 (正式写手)



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又要做绒,又要求平滑。不矛盾吗?

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12楼2018-09-20 19:44:45
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czcdxmc

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是用干法做的吗?

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13楼2018-09-20 20:01:46
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guoxingnann

新虫 (小有名气)


引用回帖:
13楼: Originally posted by czcdxmc at 2018-09-20 20:01:46
是用干法做的吗?

是湿法,碱抛的,按说出来的金字塔应该相对均匀,但是我抛出来的偏大,而且很多坑

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14楼2018-09-26 21:39:25
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czcdxmc

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有利用金属微掩膜,使用干法做的,不知效果如何

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15楼2018-09-27 07:19:15
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guoxingnann

新虫 (小有名气)


引用回帖:
15楼: Originally posted by czcdxmc at 2018-09-27 07:19:15
有利用金属微掩膜,使用干法做的,不知效果如何

嗯嗯,之前看文献了解过,不过我们这主要是靠添加剂,一直没试到合适的

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16楼2018-09-27 08:19:09
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yoghurt25

铜虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by guoxingnann at 2018-09-27 08:19:09
嗯嗯,之前看文献了解过,不过我们这主要是靠添加剂,一直没试到合适的
...

我建议考虑下强算下可存活的表活,我们在这个领域有过案例
17楼2019-01-15 16:21:56
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二星星

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我是专门做干法的,效果很好,也做过湿法,有些经验,有意可以沟通
18楼2019-06-08 15:06:33
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og78659742楼
2018-09-20 19:32   回复  
guoxingnann(金币+1): 谢谢参与
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i4s1523663楼
2018-09-20 19:32   回复  
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cfh5464274楼
2018-09-20 19:32   回复  
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2018-09-20 19:33   回复  
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景景--6楼
2018-09-20 19:33   回复  
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kch7974077楼
2018-09-20 19:34   回复  
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k6x9534198楼
2018-09-20 19:34   回复  
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r0b1597189楼
2018-09-20 19:34   回复  
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2018-09-20 19:34   回复  
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tzynew11楼
2018-09-20 19:35   回复  
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