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有做砷化镓干法刻蚀的吗 求教用什么气体 已有1人参与
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一般用什么气体 比较好。目前我们只有氯气 能不能刻 有什么问题 发自小木虫IOS客户端 |
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3楼2018-09-17 16:34:23
微纳-加工
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 12.5
- 帖子: 11
- 在线: 1.9小时
- 虫号: 10054010
- 注册: 2018-08-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2018-09-17 13:32:34
4楼2018-09-18 14:10:50
5楼2018-09-19 22:41:36