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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有做砷化镓干法刻蚀的吗 求教用什么气体
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kawasumi66

新虫 (初入文坛)

[求助] 有做砷化镓干法刻蚀的吗 求教用什么气体 已有1人参与

一般用什么气体 比较好。目前我们只有氯气 能不能刻 有什么问题

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1楼 2018-09-17 12:18:09
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微纳-加工

新虫 (初入文坛)
我们经常刻的

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2楼2018-09-17 13:32:34
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kawasumi66

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 微纳-加工 at 2018-09-17 13:32:34
我们经常刻的

能了解下工艺吗 一般通什么气体 都起什么作用呢

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3楼2018-09-17 16:34:23
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以做的BCL3和CL2
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4楼2018-09-18 14:10:50
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kawasumi66

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by MEMSlee at 2018-09-18 14:10:50
可以做的BCL3和CL2

我想请问下为什么要用这两个气体 各起什么作用呢

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5楼2018-09-19 22:41:36
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kawasumi66 at 2018-09-19 22:41:36
我想请问下为什么要用这两个气体 各起什么作用呢
...

BCl3物理轰击，Cl2化学反应

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6楼2018-09-19 23:17:58
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当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 微纳-加工 at 2018-09-17 13:32:34
我们经常刻的

你好，请问下BCl3和Cl2的流量各是多少呢？
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7楼2019-07-17 09:44:37
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