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汕头大学海洋科学接受调剂
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18893110626

新虫 (小有名气)

[求助] 导电玻璃上测SEM 已有3人参与

导电玻璃上测得的SEM照片不清晰怎么办?而且在调大放大倍数时样品表面还会出现烧痕。样品制备时有在导电玻璃表面包裹导电胶,求各位大神指教。

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也许、明天

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
导电玻璃上的样品测sem确实会发生这个问题,电子不能及时导走出现了堆积,从而出现很亮的斑或者线条。我做了七八年sem了,个人有一些建议。1. 适当调整电压电流大小,比如调整到低一点的电压,2KV甚至1kV,分辨率会下降,但是亮的条纹会少。2. 选择区域拍照时,尽量选择靠近你所说的表面贴附了导电胶的部分进行拍照,毕竟选择的区域并不会太大。3. 如果你会使用SEM的drift功能,也能有点帮助,或者在聚焦好了以后,调低sem的扫描速率后,全屏选择快速拍照
5楼2018-09-12 16:04:14
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dassiondong

金虫 (小有名气)

确定把电能通过ito表面导出去就好了,有烧痕很正常,除非你的样品特别导电

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2楼2018-09-12 07:43:40
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18893110626

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dassiondong at 2018-09-12 07:43:40
确定把电能通过ito表面导出去就好了,有烧痕很正常,除非你的样品特别导电

谢谢。

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3楼2018-09-12 08:55:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可能有污染,plasma clean一下试试
4楼2018-09-12 15:56:27
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