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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 导电玻璃上测SEM
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18893110626

新虫 (小有名气)

[求助] 导电玻璃上测SEM 已有3人参与

导电玻璃上测得的SEM照片不清晰怎么办？而且在调大放大倍数时样品表面还会出现烧痕。样品制备时有在导电玻璃表面包裹导电胶，求各位大神指教。

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1楼 2018-09-12 01:46:55
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dassiondong

金虫 (小有名气)
确定把电能通过ito表面导出去就好了，有烧痕很正常，除非你的样品特别导电

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2楼2018-09-12 07:43:40
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18893110626

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dassiondong at 2018-09-12 07:43:40
确定把电能通过ito表面导出去就好了，有烧痕很正常，除非你的样品特别导电

谢谢。

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3楼2018-09-12 08:55:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可能有污染，plasma clean一下试试
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4楼2018-09-12 15:56:27
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也许、明天

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
导电玻璃上的样品测sem确实会发生这个问题，电子不能及时导走出现了堆积，从而出现很亮的斑或者线条。我做了七八年sem了，个人有一些建议。1. 适当调整电压电流大小，比如调整到低一点的电压，2KV甚至1kV，分辨率会下降，但是亮的条纹会少。2. 选择区域拍照时，尽量选择靠近你所说的表面贴附了导电胶的部分进行拍照，毕竟选择的区域并不会太大。3. 如果你会使用SEM的drift功能，也能有点帮助，或者在聚焦好了以后，调低sem的扫描速率后，全屏选择快速拍照
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5楼2018-09-12 16:04:14
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六个虫虫

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

18893110626
6楼2018-09-12 16:24:26
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QQ2668174903

新虫 (文坛精英)
低电压测试，我经常拍不导电样品

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7楼2018-09-12 21:10:14
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18893110626

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 也许、明天 at 2018-09-12 16:04:14
导电玻璃上的样品测sem确实会发生这个问题，电子不能及时导走出现了堆积，从而出现很亮的斑或者线条。我做了七八年sem了，个人有一些建议。1. 适当调整电压电流大小，比如调整到低一点的电压，2KV甚至1kV，分辨率会 ...

非常感谢

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8楼2018-09-16 13:57:40
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18893110626

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 六个虫虫 at 2018-09-12 16:24:26
这个自己动手，好像难度不小，关键是操作人员，降电压，近距离，增加导电性，或者换更好机台

谢谢

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9楼2018-09-16 13:58:16
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苦行僧wk

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

不知道您那儿有没有测得ITO SEM图？？有的话可否发我一下
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10楼2018-12-17 16:56:13
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