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orchid8299

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[交流] 【求助】硅铝合金层腐蚀

在多晶硅表面2微米厚的铝，然后在经过600------9000度的温度下退火，形成硅铝合金层。想把合金层去掉，请问可以用什么腐蚀液（其具体配比）将其去除掉。谢谢！

[ Last edited by ddx-k on 2009-4-5 at 17:25 ]

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1楼 2009-04-04 23:00:29

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orchid8299

金虫 (正式写手)

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谢谢6楼
HF和HNO3我们也用来做绒面。谢谢6楼的。不过它们之间不同的配比的话，目的不一样的。有化学抛光等。我也用过两者的配液，但是就是去除不掉。我先用盐酸浸泡10分钟，然后用HF和HNO3混合液，但是还是没有效果。我的片子才170微米，一不小心就碎了。好烦，最近，都不知道怎么弄得。我也用过碱液，也用过磷酸。可是就是去不掉。我导师倒是觉得很简单的事情，可是我就是弄不好。