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orchid8299金虫 (正式写手)
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【求助】硅铝合金层腐蚀
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在多晶硅表面2微米厚的铝,然后在经过600------9000度的温度下退火,形成硅铝合金层。想把合金层去掉,请问可以用什么腐蚀液(其具体配比)将其去除掉。谢谢! [ Last edited by ddx-k on 2009-4-5 at 17:25 ] |
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