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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】如何净化氩气
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夜凉如水

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何净化氩气

每次做离子溅射后，系统的真空度都会变差，怀疑虽然是5的9的Ar，但还是不纯，怎么净化呢？Ar（-187C），和又很液氮温度很接近。
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1楼 2009-04-03 19:07:25
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
这种问题一般是管道，或者气源问题，前者不难查，后者还是找供应商，冷井我没用过，不过相信还是供应商净化得更专业些
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从此不问江湖事
6楼2009-04-06 06:40:10
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
★
ddx-k(金币+1,VIP+0):O(∩_∩)O谢谢 4-5 17:08
钢瓶里的Ar吗？怀疑不纯，好办，反正这氩的玩意油盐不进，减压进Chamber之前能想到的除杂质气体的方法全来一遍
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从此不问江湖事
2楼2009-04-03 19:44:34
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夜凉如水

金虫 (正式写手)
恩，钢瓶里的气体，可以用什么方法除呢？我平时净化气体都是用装了液氮的冷阱。通过液氮我害怕氩气会凝固。
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3楼2009-04-04 22:45:24
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
真空系统变差？
查出来是什么气体了吗？
针对性会好点。
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4楼2009-04-05 17:06:31
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