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夜凉如水

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何净化氩气

每次做离子溅射后,系统的真空度都会变差,怀疑虽然是5的9的Ar,但还是不纯,怎么净化呢?Ar(-187C),和又很液氮温度很接近。
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GrasaVampiro

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ddx-k(金币+1,VIP+0):O(∩_∩)O谢谢 4-5 17:08
钢瓶里的Ar吗?怀疑不纯,好办,反正这氩的玩意油盐不进,减压进Chamber之前能想到的除杂质气体的方法全来一遍
从此不问江湖事
2楼2009-04-03 19:44:34
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夜凉如水

金虫 (正式写手)

恩,钢瓶里的气体,可以用什么方法除呢?我平时净化气体都是用装了液氮的冷阱。通过液氮我害怕氩气会凝固。
3楼2009-04-04 22:45:24
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

真空系统变差?
查出来是什么气体了吗?
针对性会好点。
4楼2009-04-05 17:06:31
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夜凉如水

金虫 (正式写手)

没有,但是我不是很清楚怎么查!扫谱的时候也没有羟基和羰基峰。
5楼2009-04-05 22:08:05
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GrasaVampiro

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这种问题一般是管道,或者气源问题,前者不难查,后者还是找供应商,冷井我没用过,不过相信还是供应商净化得更专业些
从此不问江湖事
6楼2009-04-06 06:40:10
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夜凉如水

金虫 (正式写手)

怎么知道是管路还是气源呢?具体应该怎么查啊?
7楼2009-04-07 22:36:50
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GrasaVampiro

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粗测吹泡泡(肥皂水刷管道),精确的用气体探测器
从此不问江湖事
8楼2009-04-07 22:51:46
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夜凉如水

金虫 (正式写手)

装仪器的时候查过漏,看来是气源的问题了!
9楼2009-04-08 21:10:50
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