| 查看: 1715 | 回复: 11 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
XSM815498719铁虫 (小有名气)
|
[求助]
有关PVD制备薄膜的沉积机理的两三个问题
|
|
|
以电弧离子镀为例，由于偏压的加速作用，沉积粒子会轰击到基材表面，从而形成薄膜，这个过程中小弟有三个疑惑麻烦大家帮忙解释下： 1. 在沉积的过程会通入Ar气，并使其离化成Al+, 那么Al+应该也受偏压的作用朝基材轰击，那么为什么涂层上检测不到Ar的存在，最后轰击到基材的Al是以什么形式存在。 2. 以沉积TiN为例，通入的N2会电离成N负离子，此时负偏压会吸引Ti离子而排斥N负离子朝基材运动，那么最终在基材上的TiN是怎么生成的。 3. 如上所说的沉积离子大多带电荷，在沉积到基材后，这些电荷是怎么被中和掉的，特别是当基材为绝缘体时（如玻璃） |
回复此楼» 猜你喜欢
论文投稿，期刊推荐
已经有6人回复
-
寻求一种能扛住强氧化性腐蚀性的容器密封件
已经有3人回复
-
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。
已经有4人回复
-
真诚求助：手里的省社科项目结项要求主持人一篇中文核心，有什么渠道能发核心吗
已经有6人回复
-
孩子确诊有中度注意力缺陷
已经有14人回复
-
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢
已经有5人回复
-
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗
已经有5人回复
-
2025冷门绝学什么时候出结果
已经有3人回复
-
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入
已经有4人回复
-
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生
已经有6人回复
再见后定诺
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1969.1
- 红花: 1
- 帖子: 110
- 在线: 53.2小时
- 虫号: 533647
- 注册: 2008-03-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
9楼2018-08-30 16:16:13
王龙权
木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 14535.3
- 红花: 19
- 帖子: 1003
- 在线: 46.3小时
- 虫号: 787250
- 注册: 2009-06-04
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2018-08-27 07:43:02
XSM815498719
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 13.8
- 散金: 3
- 帖子: 187
- 在线: 66小时
- 虫号: 5162228
- 注册: 2016-10-25
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
4楼2018-08-27 17:47:11
luobingchi
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 289
- 散金: 20
- 帖子: 89
- 在线: 3.1小时
- 虫号: 2088095
- 注册: 2012-10-26
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
5楼2018-08-27 22:50:26