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sweeticeman

新虫 (著名写手)

应助: 1 (幼儿园)
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在线: 49.7小时
虫号: 3368692
注册: 2014-08-16
性别: GG
专业: 机械结构强度学

[交流] 第一次申请基金，大神们给看看评审意见，指点下哦。已有10人参与

您好，您申报的国家自然科学基金项目，经同行专家评议，未获批准，希望继续努力！

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为了使科学基金评审工作更加客观、公正、透明，加强同行之间的交流，我们把同行评议意见全文反馈，该意见仅供您参考。

关于你的项目的同行评议意见如下：
<1>项目以MEMS薄膜结构为对象，系统的研究了微尺度薄膜材料热力学性能耦合特征表征方法，通过一系列测量获得不同热、力场作用下薄膜的热力学参数变化和耦合规律，进而分析MEMS薄膜器件在温度场工作时的失效机理。提出静电力作用下两端固支梁吸合现象的新型测试实验方案，探索提高器件稳定性和可靠性的新方法。但是申请者没有突出该表征方式的优势，且对比这一类研究并没有表明其创新性。
具体工作是探究表征方法，建立测试的数学模型，搭建相应测试平台进而实现对器件在热力场下的失效机理研究，解析目前存在的失效机理困难和可靠性设计指导。该部分内容叙述简单，仅仅是对各种因素的罗列，还需要细化。
研究方案在理论分析方面做了较多的演算，还需要加强实验数据与理论数据的结合。在可行性上申请者没有给出事实上的数据，或者调研来说明理论和实验的可行性。
申请人从事机械结构力学耦合方面的研究，在MEMS薄膜的结构有所了解，但是具体在微尺度的热力学性能研究方面的基础还不多，依托单位与合作单位可基本提供该研究工作的需要。但是我觉得该工作并没有很好的创新性，或者申请人没有突出其方案的优越性。在实验方案等细节上还需要进一步补充。

<2>本项目提出研究微纳尺度薄膜材料热力学性能耦合特征表征方法，提出通过测量电学参数从而获得薄膜热、力学性能参数。缺乏创新性。而且，对于如何建立在热、力场作用下测量MEMS弹性模量、热扩散率、热膨胀系数、残余应力等热力学性能参数，论述不清晰，显得说服力不足。希望申请者进一步深入思考凝练创新性问题，针对性的提出真正需要解决的关键科学问题与技术难点，再多做一些前期积累。

<3>1、本项目将系统地研究微尺度薄膜材料热力学性能耦合特性表征方法，基于静电力作用下两端固支梁的吸合现象，建立在热、力场作用下测量MEMS薄膜弹性模量、热扩散率、热膨胀系数、残余应力等热力学性能参数的数学模型，提出通过测量电学参数从而获得薄膜热、力学性能参数的新型测试技术并开发出其装置，从而准确地获得在不同热、力场作用下薄膜的热力学性能参数变化与耦合规律，进而正确分析MEMS薄膜器件在温度场工作时的失效机理，研究成果对于MEMS的稳定性提高具有良好的意义。
2、以MEMS薄膜结构为研究对象，本项目提出开展的薄膜材料热力学性能表征、性能测试数学模型、热力失效机理研究是MEMS领域非常见和广泛的研究，内容的前瞻性和创新性明显不够。研究方案和技术路线、实验手段和关键技术的先进性也不够清晰和详细，项目的成功率无法令人信服。
3、项目人员搭配也明显不够合理，可进一步优化配置，经费预算也可继续优化。对国内研究动态把握还需增强，更多引用参考。

专家评审组意见

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