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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 氮化硅粉为什么不与热磷酸反应
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fk312846805

铁虫 (小有名气)

[交流] 氮化硅粉为什么不与热磷酸反应

85%热磷酸能蚀刻硅片上的氮化硅层，速率约为6nm/min，但为什么不与氮化硅粉反应
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1楼 2018-08-15 09:59:59
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
什么情况

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18楼2018-08-16 16:34:09
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598878157

版主 (文学泰斗)
★
fk312846805(金币+1): 谢谢参与
厉害

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5楼2018-08-15 11:01:51
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