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氮化硅粉为什么不与热磷酸反应
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| 85%热磷酸能蚀刻硅片上的氮化硅层,速率约为6nm/min,但为什么不与氮化硅粉反应 |
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nono20092楼
2018-08-15 10:36
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vzdzu7863楼
2018-08-15 10:40
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wjthy0574楼
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zkqqt5947楼
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tzynew8楼
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csceq6859楼
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qbivx88010楼
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urrld40311楼
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kcdkm72712楼
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iisrz82813楼
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pgqtr83116楼
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