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fk312846805

铁虫 (小有名气)


[交流] 氮化硅粉为什么不与热磷酸反应

85%热磷酸能蚀刻硅片上的氮化硅层,速率约为6nm/min,但为什么不与氮化硅粉反应
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版主 (文学泰斗)



fk312846805(金币+1): 谢谢参与
5楼2018-08-15 11:01:51
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cc_861106

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
氮化硅耐腐蚀性极强,几乎不与除HF外的其它无机酸发生反应。
17楼2018-08-16 15:45:21
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


18楼2018-08-16 16:34:09
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nono20092楼
2018-08-15 10:36   回复  
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vzdzu7863楼
2018-08-15 10:40   回复  
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wjthy0574楼
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qdijg9596楼
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zkqqt5947楼
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tzynew8楼
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csceq6859楼
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qbivx88010楼
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urrld40311楼
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kcdkm72712楼
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iisrz82813楼
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wqglu26714楼
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jryxb71915楼
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pgqtr83116楼
2018-08-15 13:10   回复  
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