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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 氮化硅粉为什么不与热磷酸反应
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fk312846805

铁虫 (小有名气)

[交流] 氮化硅粉为什么不与热磷酸反应

85%热磷酸能蚀刻硅片上的氮化硅层，速率约为6nm/min，但为什么不与氮化硅粉反应
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1楼 2018-08-15 09:59:59
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598878157

版主 (文学泰斗)
★
fk312846805(金币+1): 谢谢参与
厉害

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5楼2018-08-15 11:01:51
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cc_861106

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
氮化硅耐腐蚀性极强，几乎不与除HF外的其它无机酸发生反应。
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17楼2018-08-16 15:45:21
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MEMSlee

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什么情况

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18楼2018-08-16 16:34:09
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nono20092楼
2018-08-15 10:36   回复  
fk312846805(金币+1): 谢谢参与
·
vzdzu7863楼
2018-08-15 10:40   回复  
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wjthy0574楼
2018-08-15 10:46   回复  
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qdijg9596楼
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zkqqt5947楼
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tzynew8楼
2018-08-15 11:24   回复  
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csceq6859楼
2018-08-15 11:26   回复  
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qbivx88010楼
2018-08-15 12:09   回复  
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urrld40311楼
2018-08-15 12:10   回复  
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kcdkm72712楼
2018-08-15 12:15   回复  
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iisrz82813楼
2018-08-15 12:32   回复  
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wqglu26714楼
2018-08-15 12:35   回复  
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jryxb71915楼
2018-08-15 12:48   回复  
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pgqtr83116楼
2018-08-15 13:10   回复  
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