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氮化硅粉为什么不与热磷酸反应
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| 85%热磷酸能蚀刻硅片上的氮化硅层,速率约为6nm/min,但为什么不与氮化硅粉反应 |
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zkqqt5947楼
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tzynew8楼
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csceq6859楼
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