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[交流]
【求助】溅射速率问题
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请问在磁控溅射制膜时溅射时间，溅射气压，溅射功率对薄膜沉积的影响怎么确定？有公式吗？ [ Last edited by ufoer on 2009-4-1 at 15:16 ] |
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