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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】溅射速率问题
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yjmhkq

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】溅射速率问题

请问在磁控溅射制膜时溅射时间，溅射气压，溅射功率对薄膜沉积的影响怎么确定？有公式吗？

[ Last edited by ufoer on 2009-4-1 at 15:16 ]
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1楼 2009-04-01 10:01:28
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coating8397

★
bio-polymer(金币+1,VIP+0):积极回复，谢谢！ 4-1 10:48
应该是有经验公式的，你可以翻阅一下田明波的薄膜技术手册，或者薄膜技术与薄膜材料！
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2楼2009-04-01 10:26:02
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yjmhkq

铁虫 (小有名气)
谢谢楼上的回复！
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3楼2009-04-01 10:35:52
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