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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » MBE中Mg束源炉如何添加高纯的金属Mg
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qzj39

木虫 (正式写手)

[求助] MBE中Mg束源炉如何添加高纯的金属Mg 已有1人参与

本人准备使用MBE生长InGaN材料体系，Mg源作为P型掺杂。以前从未使用过Mg束源炉，6N纯度的金属Mg极其昂贵，而且Mg极易氧化，所以想问一下，Mg金属如何添加到坩埚中？是否有什么注意事项？填入后应对新料作什么处理？请做过相关工作的同仁不吝赐教。谢谢！
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1楼 2018-07-16 18:04:12
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戈多等等

禁虫 (小有名气)
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5楼2018-10-09 09:08:30
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renyixuan

木虫 (正式写手)
我们装料的时候就是直接操作的，你要求它完全不氧化也不现实啊。如果很介意这点除气的时候温度高一些，时间长一点吧，多做几炉之后会好起来的
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2楼2018-07-27 15:49:54
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qzj39

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by renyixuan at 2018-07-27 15:49:54
我们装料的时候就是直接操作的，你要求它完全不氧化也不现实啊。如果很介意这点除气的时候温度高一些，时间长一点吧，多做几炉之后会好起来的

谢谢。

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3楼2018-07-27 16:10:53
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qzj39

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 戈多等等 at 2018-10-09 09:08:30
一般默认是开腔将其他腔室维护，晶振更换，材料添加完毕后，最后加这些易氧化的材料，添加完毕后直接关腔抽真空，减少大气接触。
抽真空完毕后可以在器件制程之前进行预热，同时观察真空变化情况。
另外想了解一下 ...

我们也打算用国产的，只有4N。国外有6N的，比黄金都贵十倍，用不起。

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6楼2018-10-10 17:36:04
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