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qzj39

木虫 (正式写手)

[求助] MBE中Mg束源炉如何添加高纯的金属Mg 已有1人参与

本人准备使用MBE生长InGaN材料体系,Mg源作为P型掺杂。以前从未使用过Mg束源炉,6N纯度的金属Mg极其昂贵,而且Mg极易氧化,所以想问一下,Mg金属如何添加到坩埚中?是否有什么注意事项?填入后应对新料作什么处理?请做过相关工作的同仁不吝赐教。谢谢!
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renyixuan

木虫 (正式写手)

我们装料的时候就是直接操作的,你要求它完全不氧化也不现实啊。如果很介意这点除气的时候温度高一些,时间长一点吧,多做几炉之后会好起来的
2楼2018-07-27 15:49:54
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qzj39

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by renyixuan at 2018-07-27 15:49:54
我们装料的时候就是直接操作的,你要求它完全不氧化也不现实啊。如果很介意这点除气的时候温度高一些,时间长一点吧,多做几炉之后会好起来的

谢谢。

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3楼2018-07-27 16:10:53
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pvac

捐助贵宾 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★
qzj39: 金币+105, ★★★★★最佳答案 2018-07-31 08:49:48
nono2009: 金币-100, 屏蔽内容, 违规存档, 禁止回帖广告 2018-08-15 07:17:57
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4楼2018-07-28 13:28:34
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戈多等等

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2018-10-09 09:08:30
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qzj39

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 戈多等等 at 2018-10-09 09:08:30
一般默认是开腔将其他腔室维护,晶振更换,材料添加完毕后,最后加这些易氧化的材料,添加完毕后直接关腔抽真空,减少大气接触。
抽真空完毕后可以在器件制程之前进行预热,同时观察真空变化情况。
另外想了解一下 ...

我们也打算用国产的,只有4N。国外有6N的,比黄金都贵十倍,用不起。

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6楼2018-10-10 17:36:04
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