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shengdeem

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】薄膜强度测试问题。

请教各位,大家都是用什么方式进行薄膜强度性能测试的呢?包括薄膜本身强度和结合强度。有需要薄膜力学性能综合测试仪的吗?

[ Last edited by ufoer on 2009-3-31 at 19:46 ]
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idiot891

金虫 (初入文坛)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):说理清楚,谢谢参与交流! 4-14 14:58
纳米压痕仪测试薄膜的硬度比较好,但是测试膜基结合强度就差点了,现在没有一个比较好的测量膜基结合力的方法,没有标准,只有定性。用纳米划痕比压痕要好一点
8楼2009-04-14 14:42:05
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caocao4735

荣誉版主 (职业作家)

小木虫金属版院士”QQElite”

优秀版主


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 4-12 23:20
可以尝试纳米压痕仪  嘿嘿 可以得到不少信息
我是科学的狼
2楼2009-03-30 08:20:35
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shengdeem

金虫 (小有名气)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 4-12 23:20
纳米压痕的方法太受限制了吧?这跟通过测洛式硬度推断钢铁的强度是一个道理吧?只能定性判断。另外,对于很多高分子薄膜来说,能否进行纳米压痕实验呢?
3楼2009-03-30 09:09:04
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spin5112

金虫 (小有名气)

★ ★
amannnn(金币+2,VIP+0):多谢解答,鼓励新虫热心发帖 4-12 22:28
楼主所说的结合强度是指film与substrate之间的toughness吧?条件允许的话可以试一下micro-beam,就是微悬臂梁方法,需要用到的设备有FIB(focused ion beam)和nanoindentation(纳米压痕仪),制样过程文献中有详述。
4楼2009-04-12 22:26:10
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