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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】薄膜强度测试问题。
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shengdeem

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】薄膜强度测试问题。

请教各位，大家都是用什么方式进行薄膜强度性能测试的呢？包括薄膜本身强度和结合强度。有需要薄膜力学性能综合测试仪的吗？

[ Last edited by ufoer on 2009-3-31 at 19:46 ]
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1楼 2009-03-29 23:42:16
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caocao4735

荣誉版主 (职业作家)

小木虫金属版院士”QQElite”

优秀版主
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 4-12 23:20
可以尝试纳米压痕仪  嘿嘿 可以得到不少信息
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我是科学的狼
2楼2009-03-30 08:20:35
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shengdeem

金虫 (小有名气)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 4-12 23:20
纳米压痕的方法太受限制了吧？这跟通过测洛式硬度推断钢铁的强度是一个道理吧？只能定性判断。另外，对于很多高分子薄膜来说，能否进行纳米压痕实验呢？
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3楼2009-03-30 09:09:04
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spin5112

金虫 (小有名气)
★ ★
amannnn(金币+2,VIP+0):多谢解答,鼓励新虫热心发帖 4-12 22:28
楼主所说的结合强度是指film与substrate之间的toughness吧？条件允许的话可以试一下micro-beam，就是微悬臂梁方法，需要用到的设备有FIB（focused ion beam)和nanoindentation（纳米压痕仪），制样过程文献中有详述。
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4楼2009-04-12 22:26:10
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shengdeem

金虫 (小有名气)
长见识了，多谢各位！
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5楼2009-04-13 10:18:24
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cxw0261683

捐助贵宾 (正式写手)
楼主的提问太含糊了，最起码也要说什么样的薄膜，这样有助你的问题解决！
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6楼2009-04-14 09:14:55
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
楼主是卖设备的，你们没看明白啊
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材料分析测试技术群：101717240。
7楼2009-04-14 09:50:56
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idiot891

金虫 (初入文坛)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):说理清楚，谢谢参与交流！ 4-14 14:58
纳米压痕仪测试薄膜的硬度比较好，但是测试膜基结合强度就差点了，现在没有一个比较好的测量膜基结合力的方法，没有标准，只有定性。用纳米划痕比压痕要好一点
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8楼2009-04-14 14:42:05
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jerryliu

银虫 (小有名气)
纳米压痕仪
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9楼2009-08-07 11:45:03
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