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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » MoS2刻蚀
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瞌睡的小王纸

新虫 (初入文坛)

[交流] MoS2刻蚀

请问有什么方法，刻蚀多层MoS2成任意形状，并且不损坏MoS2基底SiO2层，谢谢！

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1楼 2018-07-04 11:13:58
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瞌睡的小王纸

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by keepflying at 2018-07-04 11:41:41
激光刻蚀

有具体的途径，方法嘛，感觉激光刻蚀能量也是挺大的

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3楼2018-07-04 21:15:50
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keepflying

至尊木虫 (著名写手)
激光刻蚀

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热分析，热设计，热测试，热变形仿真分析及测试
2楼2018-07-04 11:41:41
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keepflying

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个需要不断的试了吧。边试边测一下，需要确定合适的工艺参数

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热分析，热设计，热测试，热变形仿真分析及测试
4楼2018-07-04 22:22:07
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懒木虫子

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
二氧化硅在基底层有什么作用呢？

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5楼2018-07-20 00:36:05
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