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瞌睡的小王纸

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[交流] MoS2刻蚀

请问有什么方法，刻蚀多层MoS2成任意形状，并且不损坏MoS2基底SiO2层，谢谢！

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keepflying

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激光刻蚀

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热分析，热设计，热测试，热变形仿真分析及测试

2楼2018-07-04 11:41:41

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瞌睡的小王纸

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

引用回帖:

2楼: Originally posted by keepflying at 2018-07-04 11:41:41
激光刻蚀

有具体的途径，方法嘛，感觉激光刻蚀能量也是挺大的

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3楼2018-07-04 21:15:50

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keepflying

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这个需要不断的试了吧。边试边测一下，需要确定合适的工艺参数

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4楼2018-07-04 22:22:07

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懒木虫子

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

二氧化硅在基底层有什么作用呢？

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5楼2018-07-20 00:36:05

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