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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 除了等离子体,用激光刻蚀石墨烯薄膜靠谱吗?已有2人参与

有大神用过吗?那种更稳定一些啊,用等离子体刻蚀去除光刻胶我怕我的样品挂了。。样品厚度25μm,像纸张一样

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w枕戈待旦

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我用过RIE的氧气等离子体刻蚀过石墨烯,只要控制功率和时间,一般不会刻蚀掉光刻胶,我刻蚀也就60s左右,时间不能太长的!具体可在交流!

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2楼2018-07-02 08:00:14
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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

我用的是ICP,石墨烯用氧气刻是层层刻蚀的,时间长了它被刻蚀的面积会整体变薄吧。你时间短刻蚀的,它表面出现了一个一个的小孔吗?你只做了有光刻胶的吗?

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3楼2018-07-02 09:32:47
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武汉元祿光电

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以用激光刻蚀做,我搞过,确定可以
4楼2019-06-21 15:32:09
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