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jichenxi0730铁虫 (小有名气)
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[交流]
除了等离子体，用激光刻蚀石墨烯薄膜靠谱吗？ 已有2人参与
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有大神用过吗？那种更稳定一些啊，用等离子体刻蚀去除光刻胶我怕我的样品挂了。。样品厚度25μm，像纸张一样 发自小木虫IOS客户端 |
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jichenxi0730
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 450
- 红花: 1
- 帖子: 190
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 2941433
- 注册: 2014-01-20
- 性别: MM
- 专业: 热物性与热物理测试技术
3楼2018-07-02 09:32:47
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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我用过RIE的氧气等离子体刻蚀过石墨烯，只要控制功率和时间，一般不会刻蚀掉光刻胶，我刻蚀也就60s左右，时间不能太长的！具体可在交流！ 发自小木虫Android客户端 |
2楼2018-07-02 08:00:14
4楼2019-06-21 15:32:09
