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如何去除十八烷基三氯硅烷OTS修饰
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| 求助：在硅片表面先用十八烷基三氯硅烷（OTS）进行疏水修饰，再进行光刻pattern出图形后进行刻蚀纳米线结构，但图形区域的OTS无法去除，纳米线刻蚀不出来，尝试O plasma 1min也不行。请问如何去除OTS修饰？ |
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philip1990
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- 专业: 固体与表面物理化学
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3楼2018-06-21 13:06:15
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