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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何去除十八烷基三氯硅烷OTS修饰
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wyc

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何去除十八烷基三氯硅烷OTS修饰

求助：在硅片表面先用十八烷基三氯硅烷（OTS）进行疏水修饰，再进行光刻pattern出图形后进行刻蚀纳米线结构，但图形区域的OTS无法去除，纳米线刻蚀不出来，尝试O plasma 1min也不行。请问如何去除OTS修饰？
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1楼 2018-06-19 18:14:58
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philip1990

金虫 (小有名气)
plasma时间延长用Ar气体试试，时间自己把握，时间太长也许就把你的图形也刻掉了。

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2楼2018-06-20 22:43:28
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wyc

铜虫 (小有名气)
谢谢，O plasma时间延长到5min，可以的
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3楼2018-06-21 13:06:15
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