| 查看: 1191 | 回复: 2 | ||
[求助]
如何去除十八烷基三氯硅烷OTS修饰
|
| 求助：在硅片表面先用十八烷基三氯硅烷（OTS）进行疏水修饰，再进行光刻pattern出图形后进行刻蚀纳米线结构，但图形区域的OTS无法去除，纳米线刻蚀不出来，尝试O plasma 1min也不行。请问如何去除OTS修饰？ |
回复此楼
philip1990
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2289.1
- 红花: 3
- 帖子: 178
- 在线: 47.7小时
- 虫号: 1053214
- 注册: 2010-07-07
- 性别: GG
- 专业: 固体与表面物理化学
2楼2018-06-20 22:43:28
3楼2018-06-21 13:06:15