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金虫 (正式写手)

[交流] 溅射和蒸镀成膜的优劣，提到溅射台阶覆盖好、蒸镀台阶覆盖差。

我在查看溅射和蒸镀成膜的优劣时，其中提到溅射的方式台阶覆盖好蒸镀的方式台阶覆盖差等。

那么我有4个疑惑之处，请懂行的老师指点一下。

1、这个台阶所指的是什么？2、怎么形成的？

3、为什么溅射后的薄膜不经过退火反而很容易去除？

4、用溅射的方式可否来修补金属表面的缺陷？

1楼 2018-06-19 13:57:36

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新虫 (小有名气)

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溅射气压比热蒸发高，粒子碰撞多，加之溅射有磁场，两者粒子运动轨迹不一样。此外，溅射粒子入射能比热蒸发大数十倍至百倍。溅射有绕射现象，台阶处阴影效应不明显，而热蒸发粒子几乎呈直线运动，无法到达台阶处，成膜质量较差，此外，还与粒子入射能有关。

发自小木虫Android客户端

25楼2018-07-02 21:28:54

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