应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 溅射和蒸镀成膜的优劣，提到溅射台阶覆盖好、蒸镀台阶覆盖差。
251/1返回列表
查看: 4419  |  回复: 24
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

东东那个东

金虫 (正式写手)

[交流] 溅射和蒸镀成膜的优劣，提到溅射台阶覆盖好、蒸镀台阶覆盖差。

我在查看溅射和蒸镀成膜的优劣时，其中提到         溅射的方式台阶覆盖好      蒸镀的方式台阶覆盖差   等。

那么我有4个疑惑之处，请懂行的老师指点一下。

1、这个台阶所指的是什么？2、怎么形成的？

3、为什么溅射后的薄膜不经过退火反而很容易去除？

4、用溅射的方式可否来修补金属表面的缺陷？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2018-06-19 13:57:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1、这个台阶所指的是什么？ 正常的镀膜都是沉积源和基片面对面，面对面部分薄膜沉积的都很完整；但是不是正对的，比如台阶的纵向部分蒸镀就完全镀不上了，而溅射镀膜可以镀膜，体现的就是溅射镀膜过程基片表面无论凹凸覆盖性都很好。

2、怎么形成的？ 如上，台阶覆盖性这个概念来源于半导体行业。

3、为什么溅射后的薄膜不经过退火反而很容易去除？  容不容易去除和结合力有关的，退火其实可能产生的就是界面的相互扩散导致结合力提高，但是也和具体的镀材和基材有关。

4、用溅射的方式可否来修补金属表面的缺陷？ 你所说的修补如果是全面积的覆盖一层，那么可以；如果是让凹处完全填平，那么不能。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

东东那个东
23楼2018-06-19 18:15:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sharkv8088

铁杆木虫 (著名写手)
★
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
貌似镀层不连续吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
15楼2018-06-19 14:30:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by sharkv8088 at 2018-06-19 14:30:24
貌似镀层不连续吧

有点到面，生长的过程中有不连续的地方，产生台阶，那么这个台阶如何被覆盖？
赞一下 回复此楼
18楼2018-06-19 14:38:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
23楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:15:10
1、这个台阶所指的是什么？ 正常的镀膜都是沉积源和基片面对面，面对面部分薄膜沉积的都很完整；但是不是正对的，比如台阶的纵向部分蒸镀就完全镀不上了，而溅射镀膜可以镀膜，体现的就是溅射镀膜过程基片表面无论凹 ...

谢谢
回复此楼
24楼2018-06-20 08:58:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

luobingchi

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
溅射气压比热蒸发高，粒子碰撞多，加之溅射有磁场，两者粒子运动轨迹不一样。此外，溅射粒子入射能比热蒸发大数十倍至百倍。溅射有绕射现象，台阶处阴影效应不明显，而热蒸发粒子几乎呈直线运动，无法到达台阶处，成膜质量较差，此外，还与粒子入射能有关。

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
25楼2018-07-02 21:28:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
ktzdb6492楼
2018-06-19 14:01   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
sfixh3343楼
2018-06-19 14:02   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
chewz3664楼
2018-06-19 14:04   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
tangbohejin5楼
2018-06-19 14:04   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
opbuj6986楼
2018-06-19 14:08   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
ozzsc7327楼
2018-06-19 14:15   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
yfxak9088楼
2018-06-19 14:20   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
wtief4869楼
2018-06-19 14:20   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
evgjq49210楼
2018-06-19 14:25   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
hwfen59111楼
2018-06-19 14:26   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
lvrqh04812楼
2018-06-19 14:26   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
ftuob80013楼
2018-06-19 14:28   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
yviey57514楼
2018-06-19 14:29   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
fbtnw41016楼
2018-06-19 14:35   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
mpyvb62917楼
2018-06-19 14:37   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
shenrenren19楼
2018-06-19 14:43   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
rllen88820楼
2018-06-19 14:43   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
ncmpf26521楼
2018-06-19 14:47   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
eigzk46722楼
2018-06-19 14:51   回复  
东东那个东(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 东东那个东 的主题更新
251/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 科研人应该花精力去思考如何解决问题，而不是去凝练问题 +7 瞬息宇宙 2026-09-01 14/700 2026-09-02 17:33 by ma0526
[基金申请] 要骂人了，新模版改版就是要淡化问题凝练这种虚的东西，结果有个评委还在说凝练得不够 +9 瞬息宇宙 2026-08-31 17/850 2026-09-02 14:04 by anjeeshine
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 10/500 2026-09-02 11:35 by 大不刘6
[基金申请] 学科评审组评审是指会评吗？ +5 瞬息宇宙 2026-08-31 5/250 2026-09-02 10:13 by 雨冰共舞
[文学芳草园] 梦想 +5 myrtle 2026-08-26 8/400 2026-09-02 02:42 by Leogzhya
[基金申请] 面上合作单位盖章 +6 ssyjh 2026-08-27 9/450 2026-09-01 20:01 by huagongfeihu
[基金申请] 面上函评意见出来了，像什么等级？ 20+4 Tsingking1 2026-08-27 17/850 2026-09-01 19:51 by 超级无敌华子
[论文投稿] 小白求助 投论文要求的highlights应该如何写 5+3 l1963982152 2026-08-29 4/200 2026-09-01 09:04 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +7 gdd2018 2026-08-28 12/600 2026-09-01 08:32 by 尼古拉斯小虫
[基金申请] 基金未中，这种答复是模板吗？ +6 zhaosm1982 2026-08-27 7/350 2026-08-31 21:18 by qdxxmc
[基金申请] 面上意见出来了 +12 黄鸟于飞Chao 2026-08-29 23/1150 2026-08-31 18:57 by 黄鸟于飞Chao
[基金申请] 能否申诉？ +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗？ +7 349506619 2026-08-28 7/350 2026-08-31 13:39 by 冼亮淀粉酶
[基金申请] 29号明天会评吗 +4 笨笨唐 2026-08-28 4/200 2026-08-31 09:30 by huixian257
[基金申请] 为什么到现在没收到通知？ +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +7 德尚中行 2026-08-27 8/400 2026-08-30 20:52 by purplejack
[基金申请] 我就是申请一个面上项目而已，这评审意见是按照杰青的条件评的吧？ +6 gouxfjh 2026-08-28 11/550 2026-08-30 07:57 by gouxfjh
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
[基金申请] 2026年叶企孙基金 +4 bud_bud 2026-08-27 7/350 2026-08-29 07:23 by foolishmani
[基金申请] 看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭