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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » [微纳加工]求助，哪里可以加工刻空通孔的模板
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clearIove

新虫 (初入文坛)

[求助] [微纳加工]求助，哪里可以加工刻空通孔的模板已有1人参与

孔刻通，直径1到10μm的模板，直接拿来盖上去镀膜的那种。

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1楼2018-06-12 21:10:23
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)
这个感觉好难，一般是刻蚀，然后把下面腐蚀掉

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2楼2018-06-12 21:57:52
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
有专门做这个的，掩膜板。

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善良
3楼2018-06-12 22:22:28
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clearIove

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wiseroy at 2018-06-12 22:22:28
有专门做这个的，掩膜板。

请问你指的是金属掩膜板吗？这种我没有找到能做到5μm孔径以下的。

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4楼2018-06-13 00:04:35
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
5楼2018-06-13 10:19:28
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zsnano

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
您需要的线宽比较小，由于镂空网版厚度本身，决定透光网版的孔做不到5um以下；另外您在使用过程无法保证绝对的贴合间隙为0，所以最终蒸镀出来的结构变形非常大。镂空网版不适合当前工艺，还是得考虑用光刻+金属沉积后剥离，这样图形精度可以保证。
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6楼2018-06-15 09:49:58
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clearIove

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zsnano at 2018-06-15 09:49:58
您需要的线宽比较小，由于镂空网版厚度本身，决定透光网版的孔做不到5um以下；另外您在使用过程无法保证绝对的贴合间隙为0，所以最终蒸镀出来的结构变形非常大。镂空网版不适合当前工艺，还是得考虑用光刻+金属沉积 ...

嗯~谢谢！

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7楼2018-06-18 23:27:21
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