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clearIove

新虫 (初入文坛)

[求助] [微纳加工]求助,哪里可以加工刻空通孔的模板已有1人参与

孔刻通,直径1到10μm的模板,直接拿来盖上去镀膜的那种。

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mjsophia1990

木虫 (正式写手)

这个感觉好难,一般是刻蚀,然后把下面腐蚀掉

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2楼2018-06-12 21:57:52
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

有专门做这个的,掩膜板。

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善良
3楼2018-06-12 22:22:28
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clearIove

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wiseroy at 2018-06-12 22:22:28
有专门做这个的,掩膜板。

请问你指的是金属掩膜板吗?这种我没有找到能做到5μm孔径以下的。

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4楼2018-06-13 00:04:35
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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

5楼2018-06-13 10:19:28
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zsnano

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
您需要的线宽比较小,由于镂空网版厚度本身,决定透光网版的孔做不到5um以下;另外您在使用过程无法保证绝对的贴合间隙为0,所以最终蒸镀出来的结构变形非常大。镂空网版不适合当前工艺,还是得考虑用光刻+金属沉积后剥离,这样图形精度可以保证。
6楼2018-06-15 09:49:58
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clearIove

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by zsnano at 2018-06-15 09:49:58
您需要的线宽比较小,由于镂空网版厚度本身,决定透光网版的孔做不到5um以下;另外您在使用过程无法保证绝对的贴合间隙为0,所以最终蒸镀出来的结构变形非常大。镂空网版不适合当前工艺,还是得考虑用光刻+金属沉积 ...

嗯~谢谢!

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7楼2018-06-18 23:27:21
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