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再见理想35

木虫 (正式写手)

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[求助] 溅射镀银薄膜发黑

利用直流溅射在FEP上镀银薄膜。在镀之前以NiCr合金做打底层，厚度不知。然后镀银薄膜，厚度在100nm以上。然后再镀NiCr保护层，镀出来的薄膜发黑。如果最外层用Al做保护层效果会好些。膜层结构没有问题。主要是工艺上的问题。
问题如下：
1、薄膜发黑是银硫化还是NiCr合金氧化？
2、NiCr合金很容易氧化吗？如何防止？NiCr颜色和厚度有什么关系？是越厚颜色越深吗？
3、Ag硫化有那么快吗？
3、在同样条件下镀在玻璃基底上的薄膜也发黑，由此可知，在镀制过程中FEP基底放气有影响。但还有其他方面的原因，可能是真空度不够，或者出炉温度高，等等

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薄膜制备与特性

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1楼 2018-06-11 10:58:30

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

抓住一个磁控镀银的，哈哈，有机会能否打个样？

1. Ag发黑大气情况下，硫化的可能性大；但是真空情况下，接触硫的机会会很小。
2. NiCr常规情况下不容易氧化，你可以试试分步来看，哪一层发黑。
3. Ag硫化，一接触含硫的浓度高，二纳米状态下温度高会加速。
4. FEP相对放气量已经很低了。
我的建议试验：（当然前提是，你的基片要清洗烘干，同时设备真空度达到-4pa）
1. NiCr 以及Ag 的沉积功率都严格降低，气压可以高一点。
2. 可以试验下FEP+NiCr+Al+Ag结构，整体沉积完，降温之后再取出