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再见理想35

木虫 (正式写手)

[求助] 溅射镀银薄膜发黑

利用直流溅射在FEP上镀银薄膜。在镀之前以NiCr合金做打底层,厚度不知。然后镀银薄膜,厚度在100nm以上。然后再镀NiCr保护层,镀出来的薄膜发黑。如果最外层用Al做保护层效果会好些。膜层结构没有问题。主要是工艺上的问题。
问题如下:
1、薄膜发黑是银硫化还是NiCr合金氧化?
2、NiCr合金很容易氧化吗?如何防止?NiCr颜色和厚度有什么关系?是越厚颜色越深吗?
3、Ag硫化有那么快吗?
3、在同样条件下镀在玻璃基底上的薄膜也发黑,由此可知,在镀制过程中FEP基底放气有影响。但还有其他方面的原因,可能是真空度不够,或者出炉温度高,等等
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薄膜制备与特性

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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

2楼2018-06-11 11:07:24
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再见理想35

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-11 11:07:24
多少度镀的薄膜

镀膜温度低于100℃。但通过溅射达到薄膜表面的高能粒子温度很高。基底没有冷却装置
3楼2018-06-11 14:07:05
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091820053

禁虫 (知名作家)

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4楼2018-06-11 17:58:52
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再见理想35

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-11 17:58:52
很有可能是高温引起的 氧化,  可以只镀银来排出看看是不是这个原因...

是NiCr氧化造成的发黑吗?,另外在FEP上直接镀银,会不会由于高温造成FEP低分子析出,从而造成银氧化?
5楼2018-06-12 08:28:27
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091820053

禁虫 (知名作家)

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6楼2018-06-12 17:09:25
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

抓住一个磁控镀银的,哈哈,有机会能否打个样?

1. Ag发黑大气情况下,硫化的可能性大;但是真空情况下,接触硫的机会会很小。
2. NiCr常规情况下不容易氧化,你可以试试分步来看,哪一层发黑。
3. Ag硫化,一接触含硫的浓度高,二纳米状态下温度高会加速。
4. FEP相对放气量已经很低了。
我的建议试验:(当然前提是,你的基片要清洗烘干,同时设备真空度达到-4pa)
1. NiCr 以及Ag 的沉积功率都严格降低,气压可以高一点。
2. 可以试验下FEP+NiCr+Al+Ag结构,整体沉积完,降温之后再取出
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
7楼2018-06-13 18:36:22
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13823359210

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-13 18:36:22
抓住一个磁控镀银的,哈哈,有机会能否打个样?

1. Ag发黑大气情况下,硫化的可能性大;但是真空情况下,接触硫的机会会很小。
2. NiCr常规情况下不容易氧化,你可以试试分步来看,哪一层发黑。
3. Ag硫化,一 ...

寄给我样品就行了

发自小木虫IOS客户端
8楼2018-06-21 12:08:56
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13823359210

新虫 (小有名气)

NiCr薄膜本身就是灰黑色的,不知道你担心什么,镀了银再镀NiCr能不黑吗?

发自小木虫IOS客户端
9楼2018-06-21 12:15:29
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13823359210

新虫 (小有名气)

10楼2018-06-21 12:16:59
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