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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 溅射镀银薄膜发黑
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再见理想35

木虫 (正式写手)

[求助] 溅射镀银薄膜发黑

利用直流溅射在FEP上镀银薄膜。在镀之前以NiCr合金做打底层，厚度不知。然后镀银薄膜，厚度在100nm以上。然后再镀NiCr保护层，镀出来的薄膜发黑。如果最外层用Al做保护层效果会好些。膜层结构没有问题。主要是工艺上的问题。
问题如下：
1、薄膜发黑是银硫化还是NiCr合金氧化？
2、NiCr合金很容易氧化吗？如何防止？NiCr颜色和厚度有什么关系？是越厚颜色越深吗？
3、Ag硫化有那么快吗？
3、在同样条件下镀在玻璃基底上的薄膜也发黑，由此可知，在镀制过程中FEP基底放气有影响。但还有其他方面的原因，可能是真空度不够，或者出炉温度高，等等
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1楼 2018-06-11 10:58:30
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-06-11 11:07:24
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再见理想35

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-11 11:07:24
多少度镀的薄膜

镀膜温度低于100℃。但通过溅射达到薄膜表面的高能粒子温度很高。基底没有冷却装置
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3楼2018-06-11 14:07:05
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
4楼2018-06-11 17:58:52
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再见理想35

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-11 17:58:52
很有可能是高温引起的 氧化，  可以只镀银来排出看看是不是这个原因...

是NiCr氧化造成的发黑吗？，另外在FEP上直接镀银，会不会由于高温造成FEP低分子析出，从而造成银氧化？
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5楼2018-06-12 08:28:27
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
6楼2018-06-12 17:09:25
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

抓住一个磁控镀银的，哈哈，有机会能否打个样？

1. Ag发黑大气情况下，硫化的可能性大；但是真空情况下，接触硫的机会会很小。
2. NiCr常规情况下不容易氧化，你可以试试分步来看，哪一层发黑。
3. Ag硫化，一接触含硫的浓度高，二纳米状态下温度高会加速。
4. FEP相对放气量已经很低了。
我的建议试验：（当然前提是，你的基片要清洗烘干，同时设备真空度达到-4pa）
1. NiCr 以及Ag 的沉积功率都严格降低，气压可以高一点。
2. 可以试验下FEP+NiCr+Al+Ag结构，整体沉积完，降温之后再取出
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
7楼2018-06-13 18:36:22
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13823359210

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-13 18:36:22
抓住一个磁控镀银的，哈哈，有机会能否打个样？

1. Ag发黑大气情况下，硫化的可能性大；但是真空情况下，接触硫的机会会很小。
2. NiCr常规情况下不容易氧化，你可以试试分步来看，哪一层发黑。
3. Ag硫化，一 ...

寄给我样品就行了

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8楼2018-06-21 12:08:56
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13823359210

新虫 (小有名气)
NiCr薄膜本身就是灰黑色的，不知道你担心什么，镀了银再镀NiCr能不黑吗？

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9楼2018-06-21 12:15:29
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13823359210

新虫 (小有名气)
可以蒸硅油保护

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10楼2018-06-21 12:16:59
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