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伊纱

铜虫 (小有名气)

[求助] P-100 单面抛光硅片 的晶型已有1人参与

我用 KOH 腐蚀P-100 单面抛光硅片, 反应结束后抛光面依然很亮,SEM下看是金字塔覆盖率很低,间距很大。但是偶尔背面金字塔排列比较紧密。调过很多参数,包括时间,浓度,依然不行。
本人小白,很希望得到大神指点
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

我上站不固定,收不到回复提醒,你私信吧
覆盖率很低说明缺陷少啊,好事啊。你的片子的阻值是多少?厂家是哪里的?
2楼2018-06-06 16:35:32
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