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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » P-100 单面抛光硅片 的晶型
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伊纱

铜虫 (小有名气)

[求助] P-100 单面抛光硅片 的晶型 已有1人参与

我用 KOH 腐蚀P-100 单面抛光硅片， 反应结束后抛光面依然很亮，SEM下看是金字塔覆盖率很低，间距很大。但是偶尔背面金字塔排列比较紧密。调过很多参数，包括时间，浓度，依然不行。
本人小白，很希望得到大神指点
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1楼 2018-06-02 16:54:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

我上站不固定，收不到回复提醒，你私信吧
覆盖率很低说明缺陷少啊，好事啊。你的片子的阻值是多少？厂家是哪里的？
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2楼2018-06-06 16:35:32
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