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P-100 单面抛光硅片 的晶型 已有1人参与
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我用 KOH 腐蚀P-100 单面抛光硅片， 反应结束后抛光面依然很亮，SEM下看是金字塔覆盖率很低，间距很大。但是偶尔背面金字塔排列比较紧密。调过很多参数，包括时间，浓度，依然不行。 本人小白，很希望得到大神指点  |
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yswyx 
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2楼2018-06-06 16:35:32
