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在刚玉管400℃下通氨气,会反应吗?
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老姜sir
新虫
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在刚玉管400℃下通氨气,会反应吗?
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就是400℃下,氨气会和三氧化二铝反应吗?求大神指点。
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2018-05-30 21:08:37
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伽鲁特
至尊木虫
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在线: 98.8小时
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用mocvd在蓝宝石衬底上生长GaN,一开始的时候需要用氨气对衬底进行氮化,那一步的程序设定温度是660°实际温度应该更低一些,所以我怀疑你要的400°也是会发生反应的,只不过反应程度和速率较低
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24楼
2018-05-31 08:57:52
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jixiangbao
2楼
2018-05-30 21:08
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pandongzi
3楼
2018-05-30 21:08
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C10414016
4楼
2018-05-30 21:09
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花开亦无话
5楼
2018-05-30 21:09
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wangsy2006
6楼
2018-05-30 21:10
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lifeo0
7楼
2018-05-30 21:10
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wxiaona
8楼
2018-05-30 21:10
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czj1019
9楼
2018-05-30 21:10
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出国的疯子
10楼
2018-05-30 21:12
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飞海
11楼
2018-05-30 21:13
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tangbohejin
12楼
2018-05-30 21:14
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wanwlzwj
13楼
2018-05-30 21:14
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pma29
14楼
2018-05-30 21:14
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