在刚玉管400℃下通氨气，会反应吗？ - 功能材料 - 交流互助 - 小木虫论坛-学术科研互动平台

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老姜sir

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 85
帖子: 34
在线: 5.8小时
虫号: 8428701

已领完

在刚玉管400℃下通氨气，会反应吗？: 领取红包 (小木虫手机app专属红包)

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就是400℃下，氨气会和三氧化二铝反应吗？求大神指点。

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1楼 2018-05-30 21:08:37

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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)

应助: 31 (小学生)
金币: 10755.6
帖子: 2766
在线: 98.8小时
虫号: 2394510

用mocvd在蓝宝石衬底上生长GaN，一开始的时候需要用氨气对衬底进行氮化，那一步的程序设定温度是660°实际温度应该更低一些，所以我怀疑你要的400°也是会发生反应的，只不过反应程度和速率较低

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24楼2018-05-31 08:57:52

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