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老姜sir

新虫 (初入文坛)


已领完
在刚玉管400℃下通氨气,会反应吗?
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就是400℃下,氨气会和三氧化二铝反应吗?求大神指点。

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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)


用mocvd在蓝宝石衬底上生长GaN,一开始的时候需要用氨气对衬底进行氮化,那一步的程序设定温度是660°实际温度应该更低一些,所以我怀疑你要的400°也是会发生反应的,只不过反应程度和速率较低

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24楼2018-05-31 08:57:52
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