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在刚玉管400℃下通氨气,会反应吗?
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老姜sir
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在刚玉管400℃下通氨气,会反应吗?
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就是400℃下,氨气会和三氧化二铝反应吗?求大神指点。
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用mocvd在蓝宝石衬底上生长GaN,一开始的时候需要用氨气对衬底进行氮化,那一步的程序设定温度是660°实际温度应该更低一些,所以我怀疑你要的400°也是会发生反应的,只不过反应程度和速率较低
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24楼
2018-05-31 08:57:52
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