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ty812227016

新虫 (初入文坛)

[求助] ALD镀金属薄膜

大家知道哪里可以用ALD镀金属薄膜的么？ 请提供点联系方式或者资料。

我现在用电子束镀的金线，宽200nm左右，电流到10-6A，这线就熔断了。

如果用ALD长的Pt之类的来替代电子束镀的，会好一点么？

邮箱：bin_yuan2016@126.com


只有20金币了。

谢谢！
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1楼 2018-05-28 16:25:53
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光棍9527

新虫 (小有名气)
目前国内应该没有用ALD技术镀金膜，适用于ALD技术的金前驱体非常昂贵，也很难买到。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2018-06-07 19:04:19
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