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ALD镀金属薄膜
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ty812227016
新虫
(初入文坛)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 2.5
帖子: 3
在线: 8.1小时
虫号: 3620300
注册: 2014-12-30
专业: 半导体电子器件
[
求助
]
ALD镀金属薄膜
大家知道哪里可以用ALD镀金属薄膜的么? 请提供点联系方式或者资料。
我现在用电子束镀的金线,宽200nm左右,电流到10-6A,这线就熔断了。
如果用ALD长的Pt之类的来替代电子束镀的,会好一点么?
邮箱:bin_yuan2016@
126.com
只有20金币了。
谢谢!
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无机化学论文润色/翻译怎么收费?
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1楼
2018-05-28 16:25:53
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光棍9527
新虫
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应助: 2
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帖子: 261
在线: 48.6小时
虫号: 1870983
注册: 2012-06-27
专业: 材料物理化学
目前国内应该没有用ALD技术镀金膜,适用于ALD技术的金前驱体非常昂贵,也很难买到。
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2楼
2018-06-07 19:04:19
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