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L小懒虫

木虫 (著名写手)

[交流] DLC制备中空心阴极效应已有1人参与

请问你们是怎么解决PECVD,PBII等技术制备DLC过程中空心阴极效应等造成炉腔温度上升,影响DLC的制备的问题?本人具有一定的涂层行业基础,欢迎交流。

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Dlc专业户

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个设计的时候就应该考虑水冷却的!

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2楼2018-10-09 10:29:18
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L小懒虫

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Dlc专业户 at 2018-10-09 10:29:18
这个设计的时候就应该考虑水冷却的!

冷却水作用不是很大吧

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3楼2018-10-09 10:36:38
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Dlc专业户

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
为什么这么说呢?

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4楼2018-10-09 11:19:29
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L小懒虫

木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Dlc专业户 at 2018-10-09 11:19:29
为什么这么说呢?

热源不在靶材

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5楼2018-10-10 05:40:17
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