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沉积薄膜时偏压的设置？ 已有1人参与
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| 在CVD中，产生等离子体后，假如气体流速沿着水平方向，在垂直方向加上负偏压会有效果吗？其与水平方向加偏压的方式区别是什么了？ |
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强哥哥哥
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