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沉积薄膜时偏压的设置？ 已有1人参与
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| 在CVD中，产生等离子体后，假如气体流速沿着水平方向，在垂直方向加上负偏压会有效果吗？其与水平方向加偏压的方式区别是什么了？ |
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5楼2018-05-28 21:59:20
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
2楼2018-05-22 11:41:24
3楼2018-05-22 17:57:51
4楼2018-05-23 21:55:03
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