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sisu

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】磁控溅射

能不能把导电性不太好的粉末,镀到基片上,比如FTO玻璃上,使其比较结实点啊,
谢谢啊

[ Last edited by ufoer on 2009-3-25 at 02:11 ]
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-25 02:11
没太看懂问题。
不过射频磁控溅射可以将导电性不好的材料沉积到基片上。但是粉末必须制成结识的靶材才行。
江湖背影
2楼2009-03-23 20:27:25
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255255

木虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-25 02:11
楼上说的对,你可以将你要镀的材料高压下压成靶材,然后用射频溅射独到基片上,不过膜很薄的,想很结实不太好做,
3楼2009-03-23 20:59:44
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sisu

木虫 (正式写手)

哎,没用过
那我用压片机把它压成靶材行么
4楼2009-03-23 22:38:59
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wuxuejun

金虫 (小有名气)


ufoer(金币+1,VIP+0):是的,需要高温烧结 3-25 02:12
压完应该烧结一下吧
5楼2009-03-24 10:17:59
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enquan123

金虫 (著名写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):回答很标准 3-25 02:12
先将靶材压成一定的形状(压片机就可以实现),然后要烧结,最后安装再安装再磁控溅射的固定位置上。
No matter what I do,I always forget to forget you...
6楼2009-03-24 11:08:02
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碧海蓝天5087

必须制成陶瓷靶材才可以!
7楼2009-03-24 11:47:13
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