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xzlaiyang

银虫 (初入文坛)

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[求助] 求paper一片，半导体刻蚀相关的

Dry Etching of Mo based layers and its interdependence with a poly-Si/MoOxNy/TiN/HfO2 gate stack

V.Paraschiv，W.Boullart，E.Altamirano-Sánchez

《Microelectronic Engineering》

Volume 105, May 2013, Pages 60-64

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1楼 2018-05-15 16:25:05

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