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xzlaiyang

银虫 (初入文坛)

[求助] 求paper一片,半导体刻蚀相关的

Dry Etching of Mo based layers and its interdependence with a poly-Si/MoOxNy/TiN/HfO2 gate stack

V.Paraschiv,W.Boullart,E.Altamirano-Sánchez

《Microelectronic Engineering》

Volume 105, May 2013, Pages 60-64
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