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倾偌闲

新虫 (著名写手)

[求助] 二维材料转移求助 已有1人参与

CVD方法在硅片上生长了TMDS材料,PMMA旋涂成膜后,用NaOH溶液加热腐蚀掉SiO2,PMMA膜脱落后清洗捞至铜网上,之前用碳膜铜网还可以,但用了微栅铜网便没成功过,铜网上没见样品,这是什么情况?如何解决?另外,做TEM时发现,转移后的材料上有一些黑点,打EDS是Si,应该是腐蚀的Si残留,如何改善解决呢?谢谢大家,请有经验的指导一二!!

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15858253139

禁虫 (小有名气)

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4楼2018-07-30 11:09:06
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心系清华

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
1楼: Originally posted by 倾偌闲 at 2018-05-10 23:30:58
CVD方法在硅片上生长了TMDS材料,PMMA旋涂成膜后,用NaOH溶液加热腐蚀掉SiO2,PMMA膜脱落后清洗捞至铜网上,之前用碳膜铜网还可以,但用了微栅铜网便没成功过,铜网上没见样品,这是什么情况?如何解决?另外,做TE ...

可能是材料分散性大,微栅是带孔挂不住,你可用超薄微栅

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2楼2018-05-11 22:53:38
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x521ulei

金虫 (小有名气)

3楼2018-07-18 22:46:41
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