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硅的氟化物SiF4和镓的氯化物GaCl3在低气压（比如几毫托）下的沸点是多少
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如题，想知道SiF4和GaCl3在低气压条件下的沸点是多少，最近在摸刻蚀条件，想确定一个比较合理的腔体压力。请大神赐教 |
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