| 查看: 1401 | 回复: 3 | |||
[求助]
请问大家，直流磁控溅射银，溅射速度特别快是怎么回事？ 已有2人参与
|
|
我看人家磁控溅射银，都是100w，溅射30分钟，也就是几百纳米厚度。可是我溅射，用10 w功率，3分钟就有几百纳米甚至微米级别厚度，导致膜的质量特别差，抽真空到3×10-3次方，Ar气1.2pa的时候溅射。不知道是什么原因造成的，有没有人能帮帮我。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射镀膜工艺 |
» 猜你喜欢
面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！
已经有22人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有9人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有6人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有11人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有11人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有11人回复
-
2026年国自然面上资助率
已经有19人回复
-
微信指数没变化，科研之友没阅读
已经有18人回复
-
基础研究怎么拉横向，学校到款任务越来越多，难以完成 拉横向，都有哪些途径啊
已经有8人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
nuaalizhong
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 5622
- 散金: 1097
- 红花: 4
- 帖子: 656
- 在线: 369.4小时
- 虫号: 2774752
- 注册: 2013-11-03
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属材料
2楼2018-05-05 03:24:28
3楼2018-05-11 16:51:20
4楼2018-05-14 10:21:55
15