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霜雪泪

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专业: 金属功能材料

[求助] 磁控溅射偏压

使用磁控溅射设备双靶共溅射射频镀硅直流镀铝，溅射同时加偏压。射频功率不变直流功率加到一定数值偏压就加不上去，偏压跳到一个低数值并摆动。加的是直流偏压工程师说射频电源和直流偏压不能同时加但我之前没有这种情况而且网上也有一些射频溅射加直流偏压的文章请问大家怎么看

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1楼 2018-04-27 15:26:18

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霜雪泪

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但是我偏压只加到50V 不高啊

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3楼2018-04-27 16:46:35

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cowboysling

木虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 机械摩擦学与表面技术

直流射频偏压电源一起开是可以的，但是不是有个功率界限要求，这几天需要考虑了。当偏压过高就会出现跳动的情况。

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2楼2018-04-27 16:18:04

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williamsh

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专业: 金属材料表面科学与工程

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4楼2018-06-01 22:37:42

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