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磁控溅射偏压
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使用磁控溅射设备 双靶共溅射 射频镀硅 直流镀铝，溅射同时加偏压。射频功率不变 直流功率加到一定数值 偏压就加不上去，偏压跳到一个低数值并摆动。加的是直流偏压 工程师说射频电源和直流偏压不能同时加 但我之前没有这种情况 而且网上也有一些射频溅射加直流偏压的文章 请问大家怎么看 发自小木虫Android客户端 |
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