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kea_illusion

铁虫 (初入文坛)

[求助] 全息曝光求助! 已有2人参与

我想全息做400-800nm周期的光栅,在GaAs上沉积了SiO2或SiN,光刻后没有出现图形。同样的工艺流程,在沉了SiN的InP衬底上可以做出来图形,请问大家知道原因吗?
同学说是片子表面的亲水性,需要氧气辉光后再做工艺,这个我也试过还是不行,求各位大佬指点。
胶是AZ5214,甩胶大概150nm。
前烘110度三分钟。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

你查一下GaAs和InP在你的曝光波长的反射率,我觉得可能和反射有很大关系。
我认识的做全息的,在这个方面都有困扰。
还有,一般用的不是5214,都用18xx,你可以问问研材微纳,他们这方面的客户多。
2楼2018-04-26 16:12:50
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0556天下无双

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

跟反射率有关,我在金上做光栅也是做不出来,反射率太高了
3楼2018-07-22 21:10:20
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)

4楼2018-07-26 17:39:32
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huazaisss

金虫 (正式写手)

这么小线条我做过是用电子束。紫外你确定能做出来?

发自小木虫IOS客户端
5楼2018-12-05 09:07:48
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GCY216

新虫 (著名写手)

GaAs上沉积SiO2曝光后是可以做出图形的,我一直都是在SiO2上做的,不过我用的光刻胶是RZJ304,另外你前烘时间过长了吧,我们实验室做都是前烘105度60s

发自小木虫IOS客户端
6楼2018-12-09 20:04:29
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