| 查看: 1297 | 回复: 2 | ||
landian666新虫 (小有名气)
|
[求助]
用尽各种方法，STM依然达不到要求真空度，求助！！！！！ 已有1人参与
|
|
设备停用一年半后，反复尝试各种方法依然不能达到真空度要求，请各位大神帮忙分析，不胜感激！！！ 设备概况： 02年德国Omicron设备，有生长腔、分析腔、低温腔三个腔体。除分析腔真空规不显示，其他设备运行正常。停用一年半今年重新启用，启用前设备状态正常能达到10E-11mbar。 重启过程： 1、130度隔热罩烘烤三天，烘烤后经过离子泵、钛升华泵除气，最终开启离子泵，在三个腔体都联通的情况下，常温下生长腔真空规显示10E-7mbar，低温腔真空规显示10E-8mbar，此时判断可能是漏气，进而下一步进行RGA检漏。 2、用氦气检漏，未检测到漏点，进而怀疑是否之前烘烤不够。（方法：用氦气喷射法兰接口一周） 3、换了一种烘烤方式，将锡箔纸包裹STM，然后缠绕加热带，再在加热带外面重新包裹一层锡箔纸，连续烘烤三天，烘烤时低温腔与其他两个腔体隔断，两个真空规显示真空度量级都在10*E-7mbar，烘烤除气后，常温下开离子泵，最终生长腔真空规显示真空度基本不变，依然在10E-7mbar量级，低温腔能达到10E-9mbar，并有显示10E-10mbar的情况。 4、之后又尝试了检漏，这次用的是乙醇，依然没有检测到。（方法：将酒精用注射器注入法兰缝隙） 5、经过以上步骤，开离子泵常温下，生长腔真空规显示2.3*10E-7mbar，低温腔显示5.6*10E-9mbar。 请各位大神帮忙分析下还有可能是什么问题导致真空度达不到那？ |
回复此楼» 猜你喜欢
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有226人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
2楼2018-04-24 18:05:48
3楼2018-05-29 18:48:38
5