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landian666

新虫 (小有名气)

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[求助] 用尽各种方法，STM依然达不到要求真空度，求助！！！！！已有1人参与

设备停用一年半后，反复尝试各种方法依然不能达到真空度要求，请各位大神帮忙分析，不胜感激！！！
设备概况：
02年德国Omicron设备，有生长腔、分析腔、低温腔三个腔体。除分析腔真空规不显示，其他设备运行正常。停用一年半今年重新启用，启用前设备状态正常能达到10E-11mbar。
重启过程：
1、130度隔热罩烘烤三天，烘烤后经过离子泵、钛升华泵除气，最终开启离子泵，在三个腔体都联通的情况下，常温下生长腔真空规显示10E-7mbar，低温腔真空规显示10E-8mbar，此时判断可能是漏气，进而下一步进行RGA检漏。
2、用氦气检漏，未检测到漏点，进而怀疑是否之前烘烤不够。（方法：用氦气喷射法兰接口一周）
3、换了一种烘烤方式，将锡箔纸包裹STM，然后缠绕加热带，再在加热带外面重新包裹一层锡箔纸，连续烘烤三天，烘烤时低温腔与其他两个腔体隔断，两个真空规显示真空度量级都在10*E-7mbar，烘烤除气后，常温下开离子泵，最终生长腔真空规显示真空度基本不变，依然在10E-7mbar量级，低温腔能达到10E-9mbar，并有显示10E-10mbar的情况。
4、之后又尝试了检漏，这次用的是乙醇，依然没有检测到。（方法：将酒精用注射器注入法兰缝隙）
5、经过以上步骤，开离子泵常温下，生长腔真空规显示2.3*10E-7mbar，低温腔显示5.6*10E-9mbar。

请各位大神帮忙分析下还有可能是什么问题导致真空度达不到那？

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